

HO-900DBI真空光學鍍膜機
產品應用:適合在玻璃、塑料等材料質的工件上鍍制多層光學膜:如增透膜、高反膜、濾光膜或者彩色裝飾膜等,也適合在手機屏、平板電腦屏上鍍AF、AS膜。
特點
■60點/80點式光學膜厚監控
■使用均勻分布的高離子電流密度的離子源
■搭載雙電子槍,多點和環型坩堝可鍍100層以上
■利用自動蒸鍍控制系統實現全自動蒸鍍過程
■工件架可選擇鐘罩式或行星式
■排氣系統可選擇擴散泵+低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
應用領域:
光學鍍膜機適合鍍制多種光學鏡頭、汽車、電子產品、亞克力、相機、玻璃、燈具、手機屏幕、眼鏡片、舞臺燈光等,可鍍制增透膜、濾光片、幻彩、紅五彩、紅、黃、綠、藍等七彩顏色,可鍍制多種膜系,對金屬、氧化物、化合物及其他高熔點膜材皆可蒸鍍,并可在玻璃表面鍍超硬膜。
型號 | HO-900DBI |
真空室 | SUS304, φ900mm×1300mm (H) |
工件架 | φ 790mm |
工件架轉速 | 10 rpm to 30 rpm (可變) |
光學膜厚控制 |
HOM2-R-VIS350A光學膜厚監控儀 波長范圍:350nm to 1100nm 反射式/透射式可選 |
水晶式膜厚計 | XTC/3+6點式水晶傳感器 |
蒸發源 | 電子槍2套 |
離子源 | 10cm RF 離子源 |
排氣系統 | 機械泵+1個擴散泵+Polycold(或1個冷凝泵) |
達到壓力 | 7.0 × 10-5Pa以下 |
排氣時間 | 15分 (大氣壓 1.3×10-3Pa) |
排氣時間 | 大氣壓至1.5×10--3Pa≤30min |
基板溫度 | 最高:350℃ |
尺寸 | 4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx. |
電源 | 3相,200v,50/60Hz, 約80KVA |
水流量 | 80升/分以上 |
空氣壓力 | 0.5MPa 以上 |
重量 | 約5400kg |
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